指標名稱
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指標
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優級品
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一級品
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合格品
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純度1),%(V/V),≥
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99.9996
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99.9993
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99.999
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氧含量,10-6,V/V,≤
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1.0
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2.0
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3.0
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氫含量,10-6,V/V,≤
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0.5
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1.0
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1.0
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CO、CO2、及CH4總含量,10-6,V/V,≤
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1.0
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2.0
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3.0
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水含量2),%(V/V),≤
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1.0
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2.6
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5.0
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