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高純氯化氫的製備方法
2015-11-19 17:10:36
氯化氫為無色，有毒，腐蝕性的不燃燒氣體，比空氣重，對上呼吸道有強刺激，對眼、皮膚、黏膜有腐蝕。遇潮濕的空氣產生白煙，極易溶於水。化學級氯化氫含量為99.9%，高純氯化氫含量為99.999%。
高純氯化氫是集成電路生產中矽片蝕刻，鈍化和外延等工藝的重要材料，也可以用於金屬冶煉，光導通訊和科學研究等領域。隨著大規模集成電路的發展，對氯化氫純度的要求越來越高，對其中雜質的含量要求越來越苛刻，尤其要求嚴格限製碳氫化合物和碳氧化合物的含量，乙方矽片加工過程中C的形成。國內外現在製備高純氯化氫的方法有很多，今天小譜就給大家收集了幾種。
1：解吸法。20世紀70年代以前電子工業用高純氯化氫的製備一直是將濃硫酸滴加到濃鹽酸中，將其中的水吸收掉，使過飽和的氯化氫氣體析出。
2： 鹽酸脫析法。將濃鹽酸置於脫析塔中加熱脫析製氯化氫氣體。鹽酸脫析法製高純氯化氫廣泛應用於PVC、氯丁二烯和高純鹽酸等生產中。此方法生產的氯化氫氣體純度在99.9%以上。
3：合成法。氫和氯在合成爐中進行燃燒反應生成氯化氫氣體是八十年代初為適應我國電子工業的迅速發展而提出的，在技術上是較先進的方法。此方法生產的氯化氫氣體純度在99.99%以上。
4：工業副產酸脫析法。隨著鹽酸脫析法的逐步推廣，副產酸脫析生產氯化氫的工藝已廣泛應用於生產。它是通過稀酸在絕熱吸收塔吸收有機氧化物生產中的副產氯化氫，提濃後，進入解析吸塔脫析出高濃氯化氫氣體。此方法生產的氯化氫氣體純度在99.99%以上。
5：石油化工副產氯化氫提純法。目前電子級氯化氫出口國，如美國，主要是以石油化工副產氯化氫作為原料來製備。
