四氟化碳基本性質、工業製取方法
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四氟化碳基本性質、工業製取方法
2015-9-17 10:33:27
0
四氟化碳(
CF4
)又稱四氟甲烷,其高純氣及其配
高純氧氣
的混合氣,。是目前為電子工業中用量最大的等離子蝕刻氣體。
四氟化碳
基本不溶於水,在
25
度
C
及
0.2Mpa
下溶解度質量分數為
15x10
-6
.
四氟化碳具有很高的穩定性,屬於完全不燃性氣體,但與可燃性氣體燃燒時,會分解產生有毒氟化物。常溫下不與酸、堿及氧化劑反應,
900
度
C
以下不與
Cu
、
Ni
、
W
、
Mo
等過渡金屬反應。僅在碳弧溫度下緩慢分解。
1000
度
C
不與碳、氫、及甲烷反應。室溫下可與液氨
-
金屬鈉試劑反應,高溫下可與堿金屬、堿土金屬及
SiO2
反應。生產相應的氟化物。四氟化碳在
800
度
C
下開始分解,在電弧作用下可以
CO
與
CO2
反應生產
COF2
,有人還試圖在碳弧溫度中使用四氟化碳聚合以合成氣體談氟化合物。
由於
C-F
鍵的化學穩定性極強,因此以四氟化碳為代表的全氟烴可認為無毒的,
CF4
、
C2F6
和
C3F8
的全球變暖潛能值(
GWP
)的下限分別
620
、
190
和
53
,遠小於氯氟烴(
CFCs
)、六氟化硫和二氧化碳。
工業製取
CF4
的方法
1
:烷烴直接氟化法。該方法的優點是工藝成熟、操作簡單、原料易得。但也存在反應不易控製,產物複雜,收率低等缺點,最終可能被氣體工藝所淘汰。
2
:氟氯甲烷氟化法。很早就有用氟氯甲烷與
HF
進行氣相反應製備
CF4
的報道,但對氟氯甲烷氟化較相應的甲烷更為困難,反應需在催化劑存在下進行。催化劑同使用含
Cr
化合物。此法的優點是工藝簡單,操作安全,多數情況下不需要昂貴的
F2
,設備投資低。但隨著
CFC
8
和氫氟氯烴
(HCFC
8
)
的逐步禁用,該工藝的原料來源受到限製而受影響使用。
3
:氫氟甲烷氟化法。氫氟甲烷氟化法是一種適合工業化推廣的生產方法,具有工藝簡單、不需使用催化劑、四氟化碳收率和純度高等優點。但目前作為原料的氫氟甲烷價格相對較高,限製了工業化裝置的規模。
4
:氟碳直接合成法。四氟化碳最早是通過氟碳直接反應製得的,改方法經過不斷的發展與完善,以成為工業上製備全氟烷的最主要方法之一。
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