電子工業用氣（氨氣、氯化氫、四氟化碳）告別進口

  我國這幾年在電子信息產業方麵的發展迅速，在過去的一年裏，我國電子信息產業銷售額突破了十個億，比之前年增幅達到了百分之十五。與此同時帶動了整個電子特種氣體的市場需求量。過去由於我國在氣體生產、儲存、提純方麵技術不夠完善，一些電子工業用氣如：氨氣、四氟化碳、氯化氫都是需要依賴進口的。從我國電子產業長遠發展角度出發，我國必須打破氨氣、四氟化碳、氯化氫被國外壟斷的情況。
  記者在2013年5月舉辦的特種氣體年會報告中了解得知，廣州市譜源氣體有限公司宣布，經過不懈的努力，公司已經掌握了高純氨氣、高純四氟化碳、高純氯化氫的提純技術，為電子工業用氣的國有化做出了重要貢獻。
  高純氨氣（NH3）是電子工業中氮化膜的成膜氣體。高純氨氣跟矽烷、高純氬氣（Ar）用於薄膜太陽能電池的製造,也用於LED電子行業。氨氣具有強腐蝕性和毒性，而且具有刺激性臭味，易溶於水。目前國產高純氨氣已經占到國內市場需求的一大半，相信以後會完全取代國外氣體公司滿足中國在IC、LED、太陽能電池等領域的需求。
  高純四氟化碳（CF4） ，目前四氟化碳主要應用於微電子工業中的等離子蝕刻，廣泛應用於矽、二氧化矽、氮化矽、磷矽玻璃及鎢膜材料的鏽蝕。同時也應用於電子元件的清洗。四氟化碳又叫做四氟甲烷，是一種鹵代烴。無色、無臭、不可燃，揮發性較高。是最穩定的有機化合物之一。據廣州譜源公司特氣部主管透露，目前公司可以生產純度達99.999%的高純四氟化碳，產量基本可以滿足珠江三角洲地區電子工業的需求。
  高純氯化氫（HCL），主要應用於大規模集成電路單晶矽片氣相拋光，外延機座腐蝕等。氯化氫是一種無色有刺激性氣味的氣體。易溶於水（遇水是有強腐蝕性）。遇氰化物產生劇毒性氣體氰化氫。目前高純氯化氫已經可以滿足國內市場的需求。
  隨著國內氣體企業對電子氣體的重視，國內氣體公司在技術方麵也漸漸的追上了國外氣體公司。湧現出了一批以廣州譜源氣體有限公司為代表的具有創新性和活力的氣體公司。