氦氣用於高純氣體管道檢漏

高純氣體管道檢漏方法
1、高純大宗氣體管道氦檢漏常用方法采用內向檢漏法、閥座檢漏法、外向檢漏法。
2、內向檢漏法（噴氦法）應采用在高純氣體管道內部抽真空，外部噴氦氣的方法進行檢漏。
3、閥座檢漏法應采用閥門上遊充氦氣，下遊抽真空的方法檢漏。
4、外向檢漏法（吸槍法）應采用在高純氣體管道內部充氦氣或氦氮混合氣，外部用吸槍檢查可能泄漏點的方法檢漏。
5、氦檢漏儀表應采用質譜型氦檢測儀，其檢測精度不得低於1
6、高純氣體氦檢漏的泄漏率應符合下列要求：
6. 1、內向檢漏法測定的泄漏率不得大於1*10-9mbar. l/s；
6.2、閥座檢漏法測定的泄漏率不得大於1*10-6mbar. l/s；
6. 3、外向檢漏法測定的泄漏率不得大於1*10-6mbar. l/s
7、氦檢漏發現的泄漏點經修補後，應重新進行氣密性試驗並合格，然後應按規定再時行氦檢漏。
8、所有可能泄漏的點應用塑料袋隔離。
9、係統測試完畢，應充入高純氮氣或氬氣，並應進行吹掃。
10、測試完畢後，應提交測試報告。
譜源氣體專業氣體生產製造商
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