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三氟矽烷《氣體應用大全》

1.別名·英文名

Trifluorosilane．

2.用途

含氟非晶矽膜、非晶矽的原料氣。

3.製法

(1)4SiCl₃+3SnF₄→4SiHF₃+3SnCl₄SbCl₅

(2)

(3)4SiHCl₃+3TiF₄—→4SiHF₃+3TiCl₄

4.理化性質

分子量： 86.09

熔點： -131.4℃

沸點(101．325kPa)： -95.0℃

氣體密度： 2.97kg/m³

臨界溫度： -10℃

比熱容(氣體，25℃，101.325kPa)： 735.328J/(kg·K)

蒸氣壓(-132.9℃)： 2.666kPa

(-102.8℃)： 53.329kPa

(-90.9℃)： 125.256kPa

三氟矽烷在常溫常壓下為具有強刺激臭的無色氣體。在常溫緩慢地進行分解。加熱時也分解。但是在液氮溫度下停止分解。

4SiHF₃→3SiF₄+SiH₄

在空氣中燃燒時發出淡青色火焰(著火溫度比SiHCl₃高)。

12SiHF₃+6O₂→3SiF₄+3SiO₂+4HzSiF₆+2H₂SiO₃

在水或苛性蘇打水溶液中水解產生氫氣

2SiHF₃+(x+2) H₂O—→SiO₂·XH₂O+H₂SiF₆+2H₂

與乙醇反應生成氫氣和正矽酸酯Si(OR)₄。與濃硝酸作用生成NO₂氣體。與氨、胺反應生成加合物。

5.毒性·安全防護

參見六氟乙矽烷。