含氟電子氣體研究進展

  電子氣體是發展集成電路、光電子、微電子，特別是超大規模集成電路、液晶顯示器件、半導體發光器件和半導體材料製造過程中不可缺少的基礎性支撐源材料，它被稱為電子工業的“血液”和“糧食”，它的純度和潔淨度直接影響到光電子、微電子元器件的質量、集成度、特定技術指標和成品率，並從根本上製約著電路和器件的精確性和準確性。在矽片製造廠，一個矽片需要兩到三個月的工藝流程，完成450道或更多的工藝步驟，才能得到有各種電路圖案的芯片。這個過程包括外延、成膜、墋雜，蝕刻、清洗、封裝等諸多工序，需要的高純電子化學氣體及電子混合氣高達30多種，如矽烷、四氟化碳、六氟化硫、磷烷、超純氦氣、超純氮氣、高純氯氣、高純氯化氫、高純溴化氫等等。且每一種氣體應用在特定的工藝步驟中。目前國外有美國APCI、杜邦、在台代理商三福化工和日本三井東亞、旭硝子、昭和電工，以及CenTral Glass等公司壟斷著全球電子氣體市場。
  在全球電子氣體市場上，氟係列占30％左右。含氟電子氣體主要用作清洗劑和蝕刻劑。