砷烷AsH3合成方法及研究
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    砷烷AsH3合成方法及研究

    2012-3-5 16:33:55

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        砷烷是GaAs、GaAsP生長、N型矽外延、擴散、離子注入摻雜等不可缺少的基礎材料，因其劇毒、純度要求高，合成、淨化難度大等因素，目前能製造AsH3的國家為數不多，同時由於局毒性，在當今的國際大背景下，AsH3的進口十分麻煩。
     
        AsH3的合成方法非常經典，也是目前較為普遍的工藝。製備分兩步：原料的合成采用混合的Zn粉及As粉在600~620攝氏度下高溫合成，其反應：Zn+As→Zn3As2;另一步是用Zn3As2同稀硫酸作用，Zn3As2+H2SO4→AsH3+ZnSO4,国产传媒在线的收率為80%以上。生成的AsH3雜質的含量取決於Zn3As2的純度，通過係列的提純單元，AsH3純度大於99.9995%以上。
     
        國外有學者研究出新的無機氫化物的合成方法，隻是沒有形成規模化。該工藝的優點是可以生產係列有價值的氫化物：
     
        PCl3+LiH→PH3
        AsCl3+LiH→AsH3
        SbCl3+LiH→SbH3
     
        相信這種新技術或許會對一些烷類氣體合成的突破起到重大的作用。
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