高純氣體清潔度的控製標準

通常，高純氣體係指氣體中含較少雜質氣氛（純度），微量水份（幹燥度）汙染物粒子的婁量保持在最低限度，其粒度也應是最小的（潔淨度）。因此，對於高純氣體，純度、幹燥度、潔淨是三項重要的標度。 特別是近10年來，隨著更複雜、更密集的大規模和超大規模集成電路的生產，對高純氣體潔淨度的要求，其重要程度已不亞於對純度和幹燥度有嚴格要求的用氣工藝，無一不對其中的粒子提出限製。