2008晶圓級半導體特種氣體市場概況

半導體製程來了解氣體的應用，則薄膜製程會是相當大宗的使用部分，薄膜製程依照其成長方式之不同，可分金屬化濺鍍薄膜、CVD薄膜、磊晶，金屬化濺鍍(物理氣相沈積)主要應用在金屬層成長，如鋁、銅等，其原理是利用氬氣電漿轟擊金屬靶材產生動量轉換，將金屬靶材表麵之原子濺擊出來，並吸附在矽芯片表層，濺鍍使用的氬氣純度要求很高，若含有較多O2、N2及H2雜質，會增加金屬層之電阻性，並產生硬化、空隙等缺陷，會影響到製程良率。